二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 85-Z #293648856 待售

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ID: 293648856
晶圆大小: 6"
优质的: 2000
Furnace, 6" Gas unit Gases: N2, O2, H2, HCI 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85-Z是一种先进的扩散炉和附件设备,提供精确的工程和可靠的操作。该系统旨在提供超高速、大面积的过程控制,使其能够为各种应用程序制造高性能、高精度的组件。TEL ALPHA 85Z单元具有多种功能,使其成为医疗、航空航天和汽车应用的热门选择。首先,它可以在超快的速度下加热材料高达1450 °C。第二,它具有很大的工艺控制面积,允许晶圆、棒和板等大型基材在不阻碍生产的情况下进行加工。此外,其先进的气体分配机导致整个加工室的气体流动均匀。TOKYO ELECTRON ALPHA 85 Z工具还包括多款高级配件。例如,它有一个有助于保证均匀气流的大功率热解气源,一个在加工后快速冷却材料的快速冷却资产,以及一个便于监控过程的炉子视图窗口。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85Z提供了广泛的材料处理选项和各种各样的专用组件和设备。例如,它可以安装自动化的物料处理系统和自动化的测量/控制装置,以确保统一和准确的结果。它的专用组件,如真空室,也可以根据用户的喜好进行定制。此外,TEL ALPHA 85 Z型号极其安全,符合现行安全规定,并配备了警报设备,以防发生紧急情况时向工作人员发出警报。总体而言,Alpha 85-Z是一个高度先进的扩散炉和附件系统,提供精确的工程,可靠的操作和高效的处理。其功能非常适合汽车、航空航天和医疗应用,是高性能、可靠部件的绝佳选择。
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