二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 85-Z #293806756 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85-Z是TEL制造的先进扩散炉及相关配件。TEL ALPHA 85Z设计为提供精确的温度控制,温度范围从100 °C到1100 °C。这是通过精心设计的组件组合实现的,其中包括一个高功率感应加热元件、一个陶瓷crucible、精细温度调节和一个电位,用于独立控制炉子两个电气区的每个温度。该85-Z还配备了一个独特的专利石英晶体,全范围的温度监测精确的温度调节。该设备还拥有自始至终控制全过程的热区监控系统。热区监测装置具有坚固的碎片收集过滤器,有助于确保清洁的工作环境。TOKYO ELECTRON ALPHA 85 Z的其他特性还包括一台真空机,用于降低炉子环境中氧气的分压,从而增强扩散过程。该工具还具有排气过滤器,有助于最大限度地减少灰尘和其他有害粒子进入大气。炉子本身由高级铝合金制成,耐腐蚀和热产生的磨损。TOKYO ELECTRON ALPHA 85-Z扩散炉还包括一系列配件。这些附件包括一个钢钉点源,用于精确控制炉子特定区域的温度。它还包括一个石墨敏感器,用于控制散热在一个更大的区域。此外,它还包括一个在扩散过程中最小化热应力和控制氧化的炉衬。这有助于增强扩散过程的均匀性。除了炉子本身,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85 Z还包括一台功能强大的车载PC。该PC是资产的控制中心,能够操作炉子以及监测和调节各个部件。这样可以确保高效、无错误的操作。总之,Alpha 85-Z是一种强大、先进的扩散炉,能够提供精确的温度控制和高效的扩散。它包括一系列增强和控制扩散过程的配件,以及用于精确操作的车载PC。这使得TEL ALPHA 85 Z成为半导体制造中先进扩散应用的理想选择。
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