二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S / A-808SD #86160 待售

ID: 86160
Furnaces for N2 anneal.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S/ A-808SD是一种扩散炉和附件,旨在提供坚固和可重现的扩散处理。为了获得所需的设备特性,对扩散炉进行了工程改造,使基板能快速、重现地加工。TEL Alpha 8S/ A-808SD配备了一个大直径的双区加热室,设计用于容纳直径达200毫米的基板。双区加热室确保温度分布均匀,实现了一致、重复的扩散处理。扩散炉由轻质耐用的复合材料构成,具有直观的用户界面和触摸面板和操纵杆控制。该系统旨在通过优化散热和气体分布来生长单层和多层薄膜和SOI结构。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S/ A-808SD配有一套附件,设计用于扩展扩散处理,包括和正在处理的石英样品架、工艺气体注入口、冷壁装载站、气体肩cap骨和石英顶装载机。阿尔法8S/ A-808SD加热时的功耗较其他扩散炉低,运行维护经济。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S/ A-808SD已通过ISO 9000质量保证验证,确保了可靠和可重复的结果。扩散炉由一个广泛的TEL专家团队作为后盾,提供全面的技术和维修服务。TEL Alpha 8S/ A-808SD是生产高质量、高性能应用程序的理想选择。
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