二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z / 808S #293591594 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z/ 808S是一种最先进的扩散炉和附件，设计用于处理广泛的半导体应用。它旨在提供一种自动化的高精度解决方桉,适用于直径不超过200 mm的各种元件和晶圆尺寸。TEL Alpha 8S-Z/ 808S是一种全自动炉，可用于外延沉积、扩散、升华等工艺应用。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z/ 808S的核心是一个单室双壳石英反应室，内嵌氧化铝衬里，使热性能最大化。该炉还配备了节能、低噪声的空气冷却风扇和直列式加热器，用于精确的温度控制。此外，它还配备了高效臭氧发生器、实时温度测量设备和专用软件控制，使其成为温度敏感工艺的理想选择。Alpha 8S-Z/ 808S还具有完全可编程的配方系统,可存储多达48种配方,使用户可以轻松访问和复制以前的用途。该炉还包括一个先进的加热控制单元，可以精确调节温度和时间周期，以达到最佳性能。这可以通过允许用户根据流程要求调整出厂设置的自定义配置设置来进一步增强。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z/ 808S设计为免维护且易于操作。该舱室设有一个可移动的石墨船，以减少残留物的堆积，使装载无摇篮更容易。此外,TEL Alpha 8S-Z/ 808S的标准安全功能包括减压阀、百叶窗和其他功能,以尽量减少发生事故的风险,并尽可能确保操作安全。总体而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z/ 808S是一种可靠而强大的扩散炉和配件，适合各种工艺应用。集成的高效臭氧发生器、先进的加热控制机、可定制的配置设置使其成为高精度工艺的绝佳选择。低噪声的空气冷却风扇和直列式加热器可实现节能性能,高完整性的腔室衬里最大限度地提高了散热性能。Alpha 8S-Z/ 808S由于其易用性和专用的软件控制,是半导体制造的绝佳选择。