二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z / 808S #9361886 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z/ 808S是为热处理应用而设计的扩散炉。它是一种高性能、中大尺寸的炉具，提供大的工艺容量、优良的均匀性、优良的重复性、高吞吐量。该系统使用卤素灯作为加热元件，从而无需外部预驱装置。该装置为高温、高质量的工艺提供了创新的解决方桉，非常适合各种具有挑战性的工艺，如低温外延、层间介电沉积（ILD）、浅沟隔离（STI）和金属扩散。TEL Alpha 8S-Z/ 808S提供多种选项,例如,能够编程高达1000 °C的高温步骤。它也有能力容纳多达四个石英晶片。该机改进后的空气涡轮泵可提供5 torr的最大工艺压力。它采用独特的过滤设计，最大限度地提高工艺效率，最大限度地减少排气。它还利用了一个"冷墙"特征，允许在运行过程中均匀热加热。TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z/ 808S还具有直观的触摸屏控制界面、高精度的位置驱动工具以及一系列其他方便的功能，如自动加载过程和自动卸载能力。资产还包括几个附件，如平面陶瓷加热器、可选石英晶体监视器，以及其他各种可选设备，方便设置和使用。此外,该型号还提供多种维护和服务选项,包括远程维护功能以及设备更换和调整,以加快流程周转时间。总体而言，Alpha 8S-Z/ 808S是一种先进和创新的扩散炉及配件设备。它为低温和高温处理应用程序提供了卓越的工艺性能、高吞吐量和多用途选项。它为热处理要求苛刻的用户提供了一个创新的解决方桉,非常适合各种具有挑战性的热工程。