二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293636549 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是专门为改善半导体研究和技术过程而设计的扩散炉及配件。该扩散炉是一种高规格、高性能的扩散炉，总热预算高达200kw，设备最高温度为1300℃。它具有突出的过程均匀性、温度精度和控制性，强调实用性。TEL ALPHA 8SZ采用双壁炉和水平磁化器，以提高温度均匀性和负载。它还提供广泛的协同处理功能,最多可同时维护四个流程,并与各种流程控制系统兼容。该扩散炉的热源与高效的后基体灰化系统相结合，具有可选的滑动炉、预灭菌协议和单门选项。这款扩散炉的强大精度和制冷能力由一台多步可变驱动发动机提供。这一创新提高了准确性，增加了工艺的均匀性，并确保了稳定性和高效的冷却和加热速率。此外，加热器元件是一个两带间隙，内衬二硅化铵，提供更高的可靠性和更快的斜坡。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z还准备了一个内置映射单元，用于更好的机器控制，并配备了一个氧化保护工具，用于改进对治疗者和零件的保护。这种扩散炉的温度稳定性通过真空密封设备和防止空气污染物进入内室的空气清洁功能得到提高。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ的强健控制系统帮助用户精确监控和记录流程数据。它具有直观的图形显示和大光盘,便于检查、集中和统一的过程,并节省了能源成本。此外,该安装是为简化操作设置而设计的,可减少安装空间和能源成本。总体而言，ALPHA 8SZ是一种用途广泛的扩散炉，提供高精度和各种特点和便利，非常适合半导体研究和技术。这种扩散炉及其相关附件提供了简化的工艺、提高的效率和先进的可靠性。