二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293636590 待售
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ID: 293636590
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
Diffusion furnace, 8"
Process: HT02
SMIF Interface
1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一种扩散炉及其相关配件,用于各种半导体和光学过程。它能够在200摄氏度至1200摄氏度的低温下对半导体晶片和其他半导体器件进行热处理。TEL ALPHA 8SZ的结构包括回路加载设备、分管炉、温度控制器和排气系统。它还包括一个低氧环境,它允许成功的氧化物扩散。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z内的环路载荷单元方便了自动晶圆载荷和高效卸载。这台机器配备了一种特殊的空气处理技术,以帮助晶片在进出炉子时保持冷却。分管炉是经过ISO认证的扩散炉,能够对晶圆的顶部和底部进行回火。温度控制器是用来调节和维持扩散过程所需温度的工具。除了被用于应用热处理外,TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Z具有辅助其他活动的特性。例如,它有一个特殊的排气资产,在运行时减少烟雾和其他副产品。ALPHA 8 S Z还配备了原位热重分析(TGA)能力,允许实时测量减肥。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ包括一个自动大气控制模型,用于获取恒定稳定的温度、氧气和臭氧浓度。这有助于确保不同扩散过程中所需的工艺条件。这个扩散炉由四个电源供电,占地面积小,适合多种应用。总体而言,Alpha 8S-Z是一种可靠、高效的扩散炉,带有所有必要的附件,使半导体过程快速、高效、高效。这种扩散炉非常适合商业和工业应用。
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