二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293638474 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是TEL（TOKYO ELECTRON）生产的扩散炉及配件。它是为各种与表面扩散过程相关的应用而设计的。它是半导体制造的强大工具，可用于包括热氧化、扩散、蒸发、涂层、激光退火等各种半导体工艺。TEL ALPHA 8SZ扩散炉可用于创造扩散过程的最佳温度环境。炉子配有两个高温烤箱，最高可达1200 °C的最高温度。精确的温度和气流控制允许广泛的基板加热和冷却要求，使得TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z适合多种工艺，从光掩模图样到氧化退火。该炉还包括一个可选的低温室，允许处理温度敏感材料。该腔室可处理低至-10°C的温度，可用于激光退火过程，也可用于液相外延（LPE）。TEL ALPHA 8 S Z扩散炉设计了一个用户友好的界面，使其操作方便安全。直观的控制面板可以用来设置高达800°C的温度并监控炉子的状况。图形显示简化了设置和程序的导航，并提供警告和故障状态。ALPHA 8SZ的其他功能包括许多安全功能,例如气体关闭开关、过温保护以及用于安全处理高温和高压的液氮冷却系统。该炉还与各种测量仪器兼容，包括4口真空系统，以便高效运行。TEL Alpha 8S-Z扩散炉是半导体器件制造加工中不可或缺的工具.其先进的温度控制、安全特性和广泛的用途范围使其成为现代半导体工业的理想工具。