二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293642584 待售
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ID: 293642584
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Furnace, 8"
Process: Pyro
Wafer: Flat zone type
Gases configuration:
Gas supply:
Gas name / Pressure / Connection method / Unit
PN2 / 0.2 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
O2 / 0.15 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
H2 / 0.15 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
Exhaust:
Type of Exhaust / Flow rate
Scavenger exhaust / 3 m³/min
Process exhaust / 1 m³/min
Gas room exhaust / 1 m³/min
Cooling water:
Gas name / Pressure / Flow rate / Connection method / Used for
Furnace unit / 5 Kg/cm² / 15 / 3/4" SWG / Heater, flange
Power supply:
UPS: AC 120 V, Single Phase, 5 kW (Controller)
Power: 208 V, 3 Phase, 30 kW (Heater chamber)
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一种扩散炉及相关配件，设计用于半导体研究和生产。它能够承受高达1000 °C的高温，使底物能够用于蒸气沉积等先进工艺。该8S-Z包括一个先进的反应室设计，允许最优气流和温度均匀性。该8S-Z非常适合集成电路生产、微制造、MEMS等多个领域的先进研究。它在快速退火和低温掺杂方面提供卓越的性能。该8S-Z的特点是对反应室压力进行五级控制，从而能够精确控制工艺参数。它有一个顶装门，使用户可以方便地将基板直接装入主室。TEL ALPHA 8SZ提供了一套全面的附件,用户可以根据需要使用这些附件。其中包括一个转运装载机、航天飞机和篮子，以及一个具有特殊风扇和冷空气设备的冷却器Quench组件。这使得炉在加工过程中保持冷却，防止对系统、基板和用户设备的损坏。该8S-Z还提供了一个二级计算机控制单元（CCS）。这台机器使用户能够非常精确地监控和编程炉子参数。它还包括在检测到异常情况时自动关闭炉子的安全特性。总体而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z是一种中端扩散炉，具有出色的温度控制和均匀性，以及可靠的安全特性。它拥有多种配件，非常适合半导体生产、微制造等领域的先进研究。
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