二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293704451 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一种扩散炉及附件，设计用于精确控制扩散过程中的温度，以安全准确地制造半导体。该设备非常适合半导体加工、薄膜沉积和退火应用。它有一个热隔离的工艺管、一个界面控制单元和一个集成的高级光学温度测量设备。接口控制单元有四个独立的可编程程序，用于各种工艺，还监控炉子的状态。集成的先进光学温度测量系统能够高精度地测量加工管的温度，可以根据读数编程来调节炉的温度。TEL ALPHA 8SZ能够在高达1350°C的温度下运行，使用两级石英管，并配有氧化铝绝缘板。这种保温板能够保持样品晶片之间的热量，防止管子过热，从而造成不良情况。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z单元也具有多区能力，最多六个控制区，最多14个晶圆源。它设计为具有手动锁定功能,可防止在紧急情况下进入加工室。它还具有闭环控制机、温升计时器、电源故障保护等一些先进功能。闭环控制工具与炉控制器配合工作，有助于根据配方的编程轮廓调节温度。温度升高计时器有助于设置过程进行的最高温度设置。最后，电力故障保护有助于确保在电力中断时炉子继续运转。Alpha 8S-Z是一种易于操作的资产,具有易于读取的显示屏。它还配备了一个直观的控制模型，方便地控制每个过程。控制应用程序允许用户设置不同级别的控制,并允许他们逐步监视过程。设备也非常可靠，具有广泛的安全功能，可以保护系统免受损坏。
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