二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293704452 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是专门为加工晶圆而建造的扩散炉。它旨在实现最高的生产效率水平,对节能的影响较小,同时确保出色的过程控制和一致性。该8S-Z为氧化物-氧化物膜、氧化物薄膜、多晶硅蚀刻、氮化物加工等相关材料的清洁工艺提供了强大的热源和最佳气氛。该机装有一根长1.8米、宽0.3米的石英管，装有8S-Z的热区。这个热区的隔离墙提供最高1250摄氏度的温度范围。该机器还装有TEL-ATOS，这是一种专有软件，控制热区内的温度以及石英管道底部的热电偶。这确保了一个统一和可重复的扩散过程。机器还装有三个独立的加热器，它们是自校准的。在较大的表面积上有效控制热区温度，保证扩散过程的均匀性。机器还设计了改进的自动偏移机构，减少了偏移时间，同时让更多的时间集中在过程上。它的C型结构允许在增加压力能力的情况下提高均匀性,并改善访问,从而实现快速、精确的薄膜工艺。该8S-Z还有一个集成的自动化和监控设备（AMS），它允许对具有相同控制系统的多台机器进行高效控制。这有助于最大限度地提高扩散过程的效率和吞吐量。此单元允许基于警报的进程状态报告。机器还可以检测任何异常情况，并向操作员发送警报。该8S-Z还配备了预防性维护和数据记录功能,有助于减少停机时间并确保高效的流程控制。这使得机器易于维护，能够准确监控和检测任何潜在问题。该8S-Z还采用了双壁框架，以改进隔热。这样可以降低功耗,同时提供刚体支持和安全操作。此功能还有助于降低噪音和振动水平,使使用机器更加舒适。总体而言，TEL ALPHA 8SZ是一种最先进的扩散炉，能够有效地处理各类晶圆加工任务。它非常可靠，具有集成的控制系统和提供最佳过程控制和统一的多种功能。
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