二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293759914 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一种扩散炉和配件，用于制造高度先进的集成电路（IC）。TEL ALPHA 8SZ采用集成顶端加载机器人，设计用于快速、精确的晶片加载和卸载。这种高效的工具可提高吞吐量,降低污染和中断的可能性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z为未来的IC开发提供了灵活的容量，因为它配备了上下加热炉以提高温度均匀性。扩散炉本身采用先进技术建造，包括精密加热器、能量再生设备（ERS）和差分热流控制。ERS系统旨在降低功耗和提高能效,而差分热流控制单元则提供更均匀的晶圆加热和冷却,以减少非均匀性并提高吞吐量。ALPHA 8 S-Z还具有多气体注入能力，允许各种气体的集成。这些气体可以注入到广泛的温度范围内，可以从多个点引入，以增强扩散过程的均匀性。均匀的气流机也改善了温度均匀性，确保气体均匀输送，不会发生任何振荡或湍流。最后，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Z有一个350毫米晶圆处理工具，结合了机械和气动处理。机械和气动处理设备最大限度地减少了晶片加载/卸载引起的振动，从而减少了在基板传输步骤中可能发生的扭曲。处理模型的另一个好处是它允许优化材料输出处理。简而言之，ALPHA 8SZ是一种扩散炉及附件，为高通量IC制造的最高效率提供卓越的性能、精确的温度水平和改进的气体注入。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z卓越的温度均匀性、改进的气体注入以及先进的运动控制，使其成为寻求生产最先进集成电路的半导体器件制造商的理想工具。