二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293759915 待售
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ID: 293759915
Furnace, 8"
Process: NITDE Deposition
CIM: SECS
SMIF
Wafer transfer robot
Does not include Quartzware / SIC
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是为最佳效率和可靠性而设计的扩散炉及附件。配备自动气流控制设备,在扩散过程中提供整个晶圆表面的均匀温度分布。它还利用一种特殊的先进屏蔽系统来防止散气的发生和污染晶片。TEL ALPHA 8SZ提供多种功能,以确保操作简单可靠。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z有一个大的、方形的腔室,利用两级的过程进行高速的温度斜坡上升和冷却速率。腔室配有先进的气流控制装置,确保气体分布均匀,防止排气发生,保护晶片不受污染。而且,炉子的温度设置范围很广,从0摄氏度到1000摄氏度。它还配备了高精度的温度控制机,以实现整个晶片表面的最佳热分布。扩散炉还配备了一大堆配件,如温度控制工具、几个气源、温度记录装置、冷却资产、安全特性以及许多其他特点。它还带有气体分配模型和先进的冷却机构,以确保温度均匀分布在整个腔室。腔室还有一个先进的洗涤器,在扩散过程中的任何副产物空降并进入晶片之前清洗它们。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z是精密扩散过程的强大工具。它不仅在整个晶片表面提供了可靠、均匀的温度,而且对腔室的加热和冷却也有很高的速度。与炉子捆绑在一起的配件还可以方便高效地操作设备。特性的结合使得ALPHA 8 S-Z成为各种具有挑战性的扩散过程的理想工具。
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