二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293794324 待售

ID: 293794324
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
LPCVD System, 8" Factory Interface: (2) SMIF CIM: SEC / GEM Process: D-Poly (2) Handler systems Does not include: Chiller Pump 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一种高品质的扩散炉及相关配件。这一先进设备旨在为复合半导体和其他材料提供最高质量的退火和扩散工艺。TEL ALPHA 8SZ也可用于干燥和其他热操作。该系统配备了900°C至1150°C的高温操作范围,适合广泛的应用和材料。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z具有先进的辐射加热器设计,可提高效率和均匀性,提高工艺产量。该机组还拥有一台特殊的高性能供气机,保证了高精度和重复性。供气工具允许以一致的速率向扩散炉供应多层气体,从而实现精确的退火过程。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ还提供多种安全功能。该资产采用特殊的排气模型和一系列检测气体泄漏和超温条件的警报设计。这样可以确保始终保持安全。TEL ALPHA 8 S-Z是用于扩散和退火过程的高级高性能设备,可提供可靠、一致的结果。该系统具有改进效率、安全性和可重复性的高级功能。
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