二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293794329 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种扩散炉及配件设备，设计用于体积装置生产。它采用模块化设计,确保了更高的批量生产率。该系统采用8烧杯船，允许真正垂直提升晶圆，从而实现更好的工艺均匀性，从而在较小的区域内提高吞吐量。该模型适用于沉积、扩散、氧化、氮化物、植入物和植入物年鉴等应用。TEL ALPHA-8S提供由TEL GEMINI控制机器提供动力的高性能自动化控制单元。它具有8步、多步的配方输入,可有效地优化过程时间、产量和统一性。TOKYO ELECTRON GEMINI控制工具还具有单独的腔室监控资产，能够对温度、压力、速度和其他变量进行更精确、实时的控制。自动控制模型保证了过程的准确性和可重复性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S还提供各种各样的原位监测和测量技术，包括电气特性、等离子体表面造型和条带映射。这些技术使用户可以更好地控制其工艺参数,并取得优异的效果。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S利用真空设备进行高效的疏散和排气，气体和真空系统既完全集成又自动化。TEL ALPHA-8 S提供了丰富的外围设备选项,例如负载锁定和机器人技术以及软件解决方桉,以进一步优化过程控制和监控。负载锁提供了一个可控的环境，使晶片能够顺利地往返于扩散炉，而机器人技术则允许快速和安全的晶片处理。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA-8S还配备了直观的图形用户界面（GUI）和数据采集软件，旨在最大限度地提高用户效率，最大限度地减少用户错误。ALPHA 8 S还具有先进的冷却系统，通过快速冷却晶片来避免晶片损坏。冷却装置可以调整，以满足工艺的具体需要。此外,ALPHA-8S还能够完全自动化数据的加载、卸载和解释,以确保产品的质量。最后，Alpha 8S同时带有一个腔室和一个高温石英密封，这是设计给改善腔室环境，产品质量，和过程的重复性。