二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293806493 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一种配有水平分裂双室的扩散炉,设计用于先进的薄膜应用,如与制造半导体器件相关的应用。扩散炉进一步配备了底切和圆边重新设计,将温度控制在1°C ±以内,适合薄膜沉积过程。TEL ALPHA 8SZ配备了优化的空气循环设备,确保整个腔室内的温度保持均匀稳定。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z炉还配备了双棒空气离合器系统,可确保晶片的装卸均匀性,以及大容量样品盒,可容纳多达52个晶片。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ的标准附件是遥控监视器、CCD图像处理器和废气监视器。利用CCD图像处理器可以精确监测温度,因此该监视器可用于改善炉子的运行。而废气监测仪则可用于测量废气的流量、浓度和气体总量。TEL Alpha 8S-Z还配备了一个内置远程监控单元,可确保炉子随时运行,即使用户远离该位置。此外,为了确保安全,阿尔法8S-Z装有电离器、排气过滤器和冲洗排气机。电离器清除灰尘颗粒,而排气过滤器则防止污染物堆积在排气管中。最后,冲洗排气工具防止可燃气体在炉内堆积,从而导致爆炸。除了这些特性外,ALPHA 8 S-Z还附有安全锁资产,以保证用户的安全。总之,TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一种先进的薄膜沉积炉,具有水平分割双室、优化的空气循环模型、双杆空气离合器设备、内置远程监控系统以及多种配件,为用户提供了出色的性能和安全性。
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