二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293811679 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一种用于精确样品制备和分析的扩散炉及其附件。这种设备使用户能够准确地准备和执行各种薄膜沉积、退火和掺杂过程。该系统非常适合生产、研发、研究和实验应用。TEL ALPHA 8SZ包括一个主机和一个装载室。大型机配备了一个8英寸的晶圆Transfer-ELock，既兼容卡带对卡带，又兼容负载锁定对负载锁定操作，从而能够快速方便的样品准备。此外，主机还包括一台专门设计的高频射频发电机、垂直安装的供氧装置、供氮机和排气工具。载荷锁定室的设计旨在确保真空前室、主室和真空后室之间的可靠样品转移，从而保护晶片表面不受任何污染。它配备了一个24端口的背面Vent- ELock，可以用来将晶圆传递到/从大型机。腔室还包含一个等离子体源，可以用来清洁晶圆表面。Vent- ELock还提供热电偶支持的温度测量。晶圆处理资产为薄膜沉积、退火和掺杂应用提供了多种工艺。热法和等离子体法均可用于沉积、退火和掺杂。热过程可以使用多种气体，包括氮气、氙气、氧气、氢气和氨。自动热处理控制可确保实现最高质量的薄膜沉积。该模型还可用于高达1000 °C的热退火，并配备了不同的炉选项，从而实现了广泛的退火温度和相对压力。此外，该设备还配备了晶圆电极和加热气体疏散装置，用于先进的晶圆掺杂工艺。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z提供高通量操作、可靠的样品传递、出色的过程控制。是满足薄膜沉积、退火、掺杂工艺最苛刻要求的高性能系统。