二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9239924 待售
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ID: 9239924
优质的: 2000
Furnace
Polyimide cure
Quartz heater, P/N: 2187-323602-1C
PSU and UPS
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一种用于生产半导体电路的扩散炉及配件。它设计用于退火、氧化、蚀刻和其他需要高温的工艺。TEL ALPHA 8SZ采用顶装设计，并配有用于控制炉内大气的集成设备，使其适合广泛应用。此外，扩散炉由于具有先进的安全特性，包括双燃烧器、臭氧破坏系统和受保护的真空阀，因此极为可靠。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z设计用于处理直径为300 mm的晶片。它带有两个级别的加热器，高温区（HTZ）和低温区（LTZ）。HTZ的最高温度为1700 °C，整个晶圆的平均均匀度为± 1°C。LTZ用于开发过程，最高温度为800 °C。HTZ和LTZ的温度控制精度为0.1°C。Alpha 8S-Z配备了先进的PID（比例积分导数）控制器，以确保高度精确的温度控制。完全可编程的控制器使用智能用户界面和视觉警报，让用户随时了解过程。此外，该炉可通过远程监控单元进行远程操作，并用于多个批处理过程。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z也配备了集成式单桌带内转机。这使得基材能够快速有效地进出炉子。该刀具采用行进夹板设计，以实现最佳的装卸。这样可以确保基板在装载、冷却和退火过程之间安全运输。TEL ALPHA 8S Z型扩散炉利用先进的干式真空泵技术，提供高的工艺重复性和优异的工艺质量。该炉为LTZ和HTZ段配备了独立的干式真空泵，对真空条件提供了更大的控制。此外，TEL ALPHA 8 S-Z利用先进的臭氧破坏技术减少了工艺大气中的臭氧量。该技术以陶瓷臭氧破坏催化剂为基础，有助于降低加工后晶片中臭氧污染的风险。总体而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ是一种先进的扩散炉，设计可靠，易于使用。它针对高温和低温下的各种工艺进行了优化，并配备了干式真空泵、臭氧销毁技术和内部转移资产等功能，以确保更大的用户便利和更高的工艺质量。
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