二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9281891 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一种用于半导体芯片加工的扩散炉。这个炉是一个干蚀刻设备的一部分,用于蚀刻芯片的硅基板。TEL ALPHA 8SZ具有革命性的加热设计,可达到19,000摄氏度的温度。还配备了高分辨率CCD摄像头,实时监控过程。此外,该炉还具有自动调平装置和集成的EMI屏蔽装置,用于精确的温度控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z具有一个大的内室,可以容纳尺寸超过8英寸的基板。该室由熔融石英构成,旨在最大限度地提高蚀刻和扩散效率。该炉还配备了能够达到芯片处理所需高温的高性能加热系统。该单元以隔热陶瓷覆盖的热室为基础,有助于确保室内温度分布均匀。此外,该机器还配备了安全过载保护,以防止过热和其他与安全相关的问题。为确保精确一致的蚀刻,TEL ALPHA 8 S-Z配备了先进的粒子输送工具。这一资产能够准确、一致地引入所需的蚀刻气体。该模型包括扫描电子显微镜(SEM)以确保精确的粒子递送。此外,该炉还配备了多种配件,以提高蚀刻和扩散工艺的效率。ALPHA 8 S Z也可用于缺陷分析和补丁级修复,以及用于测试完成的硬件。为确保完全精度,炉子配有集成光学显微镜,提供高分辨率的视觉效果。此外,该腔室设计为减少射频干扰,并配有电磁干扰屏蔽,以进一步降低噪声。总体而言,TEL Alpha 8S-Z是一种用于芯片加工的先进扩散炉。它提供了一个隔热陶瓷覆盖的热室和先进的颗粒输送设备,以确保精确和高效的蚀刻和扩散。此外,该炉还配备了用于实时观测的高分辨率CCD摄像头,以及各种用于提高精度和性能的配件。
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