二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9281900 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一种先进的工具，为各种应用提供高性能的扩散和氧化炉，例如半导体器件制造。该炉有一个由高真空室包围的内室，能够达到2500 °C的最高温度。配备等离子源、废气装置、零空气泄漏设备。该炉具有8区控制能力，每个区有一个原位可调功率设置，允许统一或选择性处理。它还配备了用于晶片的装载机和卸载机，以及用于自动装卸的8口袋分销商。TEL ALPHA 8SZ扩散炉还包括多种使其能够执行不同类型工艺的配件，如PECVD（等离子体增强化学气相沉积）、溅射和外延生长。这些配件包括一个可用于清洁、预热、退火和其他热处理的预处理室，以及一个冷却室，用于在加工后将晶片降低至室温。它还有一个晶圆探头和一个温度传感器，用于控制均匀性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z的设计具有高度的安全性，因为它配备了热极限开关和气体关闭阀，以防止温度超过设定的水平时损坏。它还具有辐射和火焰防护能力。该炉还具有很高的精确度，因为它利用超温度传感器来监测室内温度是否均匀，并利用大气压力计来调节气体压力。该系统具有用于监控过程参数的集成单元控制中心软件。Alpha 8S-Z是一款功能强大且可靠的机器,旨在满足高级扩散和氧化方法的需求,而且用户友好,具有直观的软件和各种安全功能。它是生产高质量、多种应用的理想选择。