二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9281905 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z扩散炉是一种创新、可靠的热处理设备，用于先进材料的精密处理。该机设计用于金属基板的高效、精确热处理，包括氧化和沉积。该炉具有两个可互换的腔室，一个独特的一推装卸设备，以及一个完美平衡的温度均匀性的精密控制系统。TEL ALPHA 8SZ炉由外壳组成，外壳由不锈钢结构组成，并用绝缘材料密封。这种结构确保了高度的可靠性和耐用性。两个可互换的腔室以独特的设计提供多用途操作，允许在同一载荷内对多种基板进行相同的热处理。外壳还设有两个1.2mm厚的石英窗，允许通过红外热成像进行均匀准确的温度测量。独特的单推载荷/卸载单元通过允许在同一腔室内不受干扰地快速轻松地装卸基板，提高了生产率。基板放置在耐热托盘中，并通过槽推入炉中。此功能可在最少的处理时间内实现可重现的热处理。精密的控制机器利用高性能传感器确保整个炉子的温度均匀。该工具能够响应快速的温度变化并保持一致的温度。可调气体流量和可调气体压力有助于在整个炉子内实现高度精确的温度均匀性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z扩散炉是需要精确控制温度均匀性的热处理操作的理想选择。其强大的特点和可靠的结构保证了卓越的温度均匀性，提高了生产率，提高了热处理质量和精度。