二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9297064 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SCN扩散炉及其附件可用于一系列半导体和MEMS装置的制造过程。该设备能够准确、精确地控制室内的时间、温度和大气，以获得最佳的工艺效果。它能够达到高达1280°C的温度,并为低温、快速热退火（RTA）和高温功能提供多种选择。TEL Alpha 8SCN提供了一个单点触摸、用户友好的HMI （Human Machine Interface, Human Machine Interface）,它简化了操作,并具有快速的低温坡度能力,可实现无与伦比的吞吐量和工艺优化。炉内温度分布均匀，使得过程均匀性很小。这种均匀的温度分布是以高效的方式实现的，使得系统的使用成本比许多类似的系统要低。该单元配有多种附件，以确保安全、精确和可重复的测量，如一个持续监测室内氧气水平的原位氧气测量机（FIMOS-2）。此外,集成的IT解决方桉（如Coater ERDR （Edge Retention Device）和ECLIPSE数据采集工具）允许对工艺参数进行实时分析。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SCN的设计具有很大的内部容量，允许将基板加载到芯片载体中，然后通过晶圆盒式振动器将其加载到熔炉中。其他标准功能包括电子压力阀、通过倒置阀门防止基板损耗的快门安全功能、自动冷却风扇和低噪声环境资产。这样可以确保长时间安全高效地运行。Alpha 8SCN是当今许多半导体和MEMS应用的理想机器,它采用高级功能进行设计,以确保获得最高质量的结果。其精确的温度控制、快速的斜坡速率能力、实时的测量和分析以及集成的IT解决方桉，使其成为许多技术流程的可靠和高效的选择。
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