二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZA #293776298 待售

ID: 293776298
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Furnace, 6"-8" Process: O2 Anneal, dry oxide (5) Zone heaters Wafer shape: SNNF Wafer cassette: Plastic, 8" (150) Product wafers Gas capabilities: N2, O2 Paddle control thermocouple Place of control T/C: Between outer tube and inner tube TS4000Z System controller Reserved batch operation (5) End effectors Maximum temperature: 1100°C No SMIF Interface No N2 Load lock No boat rotation 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZA扩散炉是半导体工业的革命性产品。它具有先进的工艺控制特性和先进的特性,非常适合生产可靠和高性能的零件。TEL Alpha 8S-ZA是一种卧式炉,由先进的氧化铝纤维绝缘材料制成,具有超精密的图桉室,非常适合批量生产复杂的。该设备包括用于增强温度控制的加热压力室、使用石墨高频感应功率的中断径向加热以及用于最佳热控制的独特加热室。此外,炉子还配有15英寸触摸液晶显示屏和PC接口,便于操作和控制。TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZA的石墨高频感应功率可达到800W功率,通过使用蓝牙数据传输到达偏远地区,实现精确甚至加热覆盖。加热的压力室和中断的径向加热使炉子能在短时间内以高温稳定保持所需的温度。ALPHA-8S-ZA还具有快速、方便的清洁功能,这要归功于它的两级净化系统。第一层是惰性气体大气--特别是惰性的氙气大气--安全地清除炉内残留的污染物。第二层是真空系统,以及化学汽化系统,帮助保持内部部分清洁,不受任何冷凝物的影响。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZA Diffusion Furnace是高度可定制的,附有氮化物、化学气相沉积(CVD)、金属密封炉等附加配件。可靠、一致、有效,提供精准出色的热控制,同时减少生产时间40%。这款设备以其先进的特点受到业界的广泛赞誉,使其成为半导体生产的理想选择。
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