二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZA #9227420 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZA是一种值得信赖的用于半导体制造的扩散炉及配件。其独特的设计赋予用户快速准确地为计算机芯片等制造硅基片的能力。在这台机器的内部是一个能够保持接近完美真空条件的腔室,使掺杂元素扩散到基板上。它包括退火室,并设有电子批处理系统(EBS),便于室内通量、温度和压力同步。用于创造所需条件的真空是通过热泵和化学泵的组合来实现的。具体来说,扩散炉使用油扩散泵和冷冻泵从系统中去除固体和气体的分压。TEL Alpha 8S-ZA独特的设计让它的用户可以一次运行多个进程,同时始终保持统一的温度。它在晶片处理过程中的全高精度校准仪器有助于最大限度地减少任何未对准问题。因此,该炉提供了对整个光刻工艺的优越控制,能够达到最佳的表面和整体端接。该产品的其他特点包括先进的基板冷却系统,强大的等离子体源,能够同时沉积和蚀刻多层,以及快速和方便的维护。这种扩散炉的设计既可靠又节能。它易于使用的接口也大大减少了执行任何给定进程所需的时间。东京电子ALPHA-8S-ZA是任何需要可靠高效扩散炉的应用的绝佳选择。它非常适合半导体研究、元件制造和技术开发。其精确可靠的操作赢得了业内众多人士的认可。ALPHA-8S-ZA的质量元件、最先进的精密仪表和先进的系统特点使其成为任何高水平扩散炉项目的绝佳选择。
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