二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZAN #9227413 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZAN 9"扩散炉是为半导体和MEMS加工而设计的强大耐用的工具。其独特的设计提供了卓越的均匀性、稳定性以及所有工艺目标的统一温度控制。它有一个卓越的过程控制设备，确保准确和可重复的结果。TEL Alpha 8S ZAN 9"具有石英衬里的分体式载荷室和强大的三区加热系统。三区供热单元由两个水平区和一个垂直区组成。水平区域提供更均匀的温度,而垂直区域提供更精确的温度控制。其石英衬里分体式载荷室有助于减少铅损失，提高产品质量。它还有一个大的工作区域，允许更大的晶圆和更大数量的芯片进行处理。此外,它还具有快速更换的钟形热熔器,可方便地从一个区域切换到另一个区域。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZAN 9"扩散炉具有自动和手动控制功能,可精确控制所有工艺参数。它的温度稳定和精度也是一流的。它的数字PID控制器允许精确控制温度到最近的0.1°C。腔室温度可从1 °C调整至1200 °C，上层区域温度可从200 °C调整至1200 °C。可用于处理多种材料，包括硅、复合半导体、氮化物和氧化物。TEL ALPHA 8S-ZAN 9"扩散炉还配备了便于安装和操作的用户友好特性。它具有易于调节的舱壁以允许快速的铸锭定位，这反过来又有利于顺利的散装过程。它还拥有先进的电气安全机器，以保护用户免受任何冲击或电气危害。其坚固耐用的元件使TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZAN 9"扩散炉成为任何加工环境的绝佳选择。它的效率和优越的性能使得阿尔法8S ZAN 9"扩散炉成为MEMS和半导体加工的绝佳选择。其可靠高效的操作和精确的温度控制提供了优异的效果，其快速变化的钟形热熔器使得操作无忧。最后,它的用户友好功能确保任何技能级别的用户都能有效地操作它。