二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZV #293625746 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZV扩散炉是为半导体晶片等材料的高级热处理而设计的高性能仪器。它是一个单室单元，具有先进的象限旋风扩散设备。该炉采用集成的高级Versa-Sil引擎盖，旨在最大限度地减少空气湍流，减少与传统引擎盖设计相关的沉积变化。这种扩散炉能够处理尺寸不超过200毫米或8英寸、厚度不超过10毫米的晶片。它采用先进的Z形目标对接系统，将晶片牢固地装入石英室。该单元可确保晶片在热控制器期间保持稳固的位置,并精确地暴露在高达1200 °C的热均匀性下。TEL ALPHA-8S-ZV扩散炉还包括一台先进的送粉机，在粉末沉积到晶片上时提供了极好的控制和精度。本机还配备了自动温度控制器，对工艺的每个阶段进行温度调节，以保持腔室内稳定的热环境。为维持热处理，这些控制器还可用于精确监测腔室温度，必要时启动热控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZV扩散炉还具有自动锁载和排气工具.这样可以确保晶片加工过程中的气体环境受到控制和安全。此外，这一资产的设计目的是在室内提供一个小于5 x 10-7 torr的真空水平。这种扩散炉的整个过程通过其先进的车载计算机得到进一步的便利，这种计算机可以被编程为使过程的某些参数自动化。通过此计算机,用户可以设置沉积速率、检查热环境,以及监视和控制与模型关联的任何其他进程。总体而言，TEL Alpha 8S-ZV扩散炉是一种先进、可靠、严密的半导体材料高精度热处理控制设备。利用其自动化系统和先进的象限旋风扩散技术，用户可以确信他们的晶片和材料正在接受可靠、一致和准确的热处理。