二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZV #9227412 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZV是为生产先进半导体器件而设计的带有配件的扩散炉。设备由平台基座和上面的石墨敏感器组成。在基座的两侧，有两个马达向上和向下提升磁感器。磁感器呈圆形形状，允许晶圆上均匀加热。它利用强制空气循环来确保整个表面积的温度相等。此外，该系统还配有一个光学高温计，用于测量温度和控制感应器的加热和冷却速率。TEL ALPHA-8S-ZV有一个可容纳多达20个晶圆的大工艺室。为了保护设备免受外部污染物的污染，它有一个特殊的密封机到位。这种密封工具确保晶片保持清洁和无灰尘颗粒，允许精确的制造过程。此外，它的温度范围高达1100 °C，允许各种蚀刻和退火过程。该资产还配备了自动清洁循环，可以定期进行，以进一步减少污染晶片的机会。为确保操作过程中的安全,TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZV带有互锁模型。此功能用于防止在盖子打开时意外激活炉子,从而保护用户免受任何潜在伤害。炉盖内的熔融二氧化硅窗允许在加热过程中对晶片进行目视监控。该扩散炉还具有多项前沿特点，以减少功耗和排放。虽然大多数系统使用纯氮作为载气，但TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZV利用了氧气、氙气和环氧化氙等气体的组合。这会减少污染物,并将操作所需的能量降至最低。此外，该设备的设计是为了在工艺和排气室中保持均匀的温度曲线。这阻止了热点的突破，导致产量和质量的提高。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ZV是半导体工业中使用的领先扩散炉之一。它提供了一个可靠和先进的系统，能够产生一些最先进的技术可用。凭借其安全特性、低排放、出色的温度控制，是任何希望以可靠生产实现利润最大化的企业的理想选择。