二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZVF #9227418 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVF是一种先进的扩散炉及配件，专门用于半导体工业中的加工晶片。TEL Alpha 8S ZVF设备在CVD和扩散过程中提供了出色的温度均匀性、高吞吐率和提高的晶圆产率。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVF系统的特点包括高温CVD双腔室设计、高压高温过程腔室以及改善晶圆通量的环境腔室。Alpha 8S ZVF还包括一个额外的直列炉,一个可选的超高真空（UHV）性能模块,旨在改进气体分配以改进整个过程控制。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVF的双腔室设计可实现高温CVD和快速热处理（RTP）或快速热退火（RTA）模块的两步过程流,从而提高了步骤覆盖范围,提高了过程均匀性,提高了吞吐率。双室设计还包括一个平均分配加工气体的石英电淋浴头，还包括一个低功率晶圆加热元件，以提高安全性。TEL Alpha 8S ZVF的高压高温模块确保了接触温度的保持，同时提供了出色的材料均匀性和高通量的晶圆。该模块设计用于处理高达600 torr的压力和高达1400摄氏度的温度，还包括一个双石英-碳片区、一个改进的石英-碳金涂层炉和一个闭环气体分配单元。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVF炉设计用于改进过程控制和安全性，为用户提供精确的气体温度控制和更大的过程窗口。Alpha 8S ZVF可选的超高真空（UHV）性能模块为等离子体和真空辅助工艺提供了更低的压力环境,从而实现了高达1400摄氏度的低压超高温工艺。该模块还具有单一石英元件设计、用于均匀分配加工气体的双石英电淋浴头以及用于提高安全性的低功率晶圆加热元件。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVF机设计为半导体工业在CVD和扩散过程中提供卓越的温度均匀性、高通量率和提高的晶圆产率。该工具的双腔室设计、高压、高温模块和可选的UHV模块提供了增强的步长覆盖范围、改进的工艺均匀性和更高的吞吐率，确保了晶圆产量的提高和工艺控制的改进。