二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZVN #9227414 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZVN是一种扩散炉及配件，用于制造硅片上的整体集成电路。这台机器提供多达12个可独立编程的工艺管，能够执行各种气相工艺，包括热氧化物、氮化物、掺杂氧化物和掺杂剂驱动。TEL ALPHA-8S-ZVN配备石英管室,提供卓越的热性能,能够实现超过1200°C的超高温,并具有精确的温度控制。为保证扩散过程的精确均匀性，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVN上的每根管子都配备了精确的双区温度控制系统，具有独立区温度、预热、坡道上升和降温温度设置。这提供了高度的均匀性和可重复性，允许精确的制造过程。Alpha 8S-ZVN还安装了自动氧化剂生成系统，该系统能够准确、一致地保持扩散室内的氧浓度，从而使晶圆上的氧化物厚度均匀。该机器还配备了一个独特的启用RFID的晶片加载子系统，在整个扩散过程中安全地标记和跟踪每个晶片，从而方便复制，加快晶片加载时间。TEL Alpha 8S-ZVN还能够执行一系列标准的掺杂剂驱动过程，包括砷和磷。在这些过程中，机器的设计能够产生氮气或氙气/氢气溷合物，从而实现更安全和更高效的掺杂剂驱动。该机还提供了一系列的后驱动和清理选项，包括同时乙烯基三甲氧基硅烷（VTMS）和氙/氢等离子体。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVN是一种高度可靠和精确的扩散炉及配件，非常适合制造高密度单片集成电路。它具有众多的安全特性，可靠的温度控制系统和自动晶片加载子系统，是制造先进集成电路的有力工具。