二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZVN #9227416 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZVN是一种专门用于半导体器件制造的扩散炉。该扩散炉设计用于高通量和提高生产率,温度范围从150°C到1000°C。它由石英管室、扩散特性和集成工艺室构成，以确保最小的热损耗。TEL ALPHA-8S-ZVN扩散炉配备高效卤素灯光源和高精度八区高温计，精确监控加工管内温度。它与改进的保护性气体系统和独特的气体热循环相结合，降低了能耗，同时提高了可靠性和安全性。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVN为均匀加热提供了改进的冷却循环和快速加热过程。TEL ALPHA 8S ZVN扩散炉还具有独特、先进的控制机制，利用AI优化晶圆温度，提高工艺均匀性。此功能还有助于缩短热循环时间,并在整个扩散过程中保持所需的温度稳定性。此外,ALPHA 8S ZVN采用增强的配方系统来优化扩散配方。此外，该炉还采用7.0英寸彩色液晶触摸屏，为操作员提供友好的界面，利用当前和历史工艺数据提供出色的工艺能见度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZVN是参与製造Flash记忆体、D-RAM和Logic IC等複杂且专门的半导体器件的理想解决方桉。具体来说，扩散炉适用于CMOS、IFerrite、Flash MOS内存、SiGe HBT、SiGeCGFET、GaN HBT工艺等一系列实现。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZVN高度可靠,结构耐用,可承受恶劣的加工环境。总体而言，ALPHA-8S-ZVN是一种先进的扩散炉，旨在提供高温、高通量的热处理，提高均匀性和工艺产量。该炉配备了先进的特性和控制，旨在确保全面高效的半导体器件制造工艺。