二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #119701 待售
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ID: 119701
优质的: 1997
Vertical diffusion furnace
Currently Configured for Nitride with 8" Notched Wafers
1+5 Wafer Type
Integrated Open Cassette Loaders
Load Lock System: Yes
TS-4000 System Controller
Temp. Controller Model M-121
Unit 1660 MFC Controller
TEL Model VMM-40-101 Heater
Boat Rotation – Inspection needed
Signal Tower (Red, Amber, Green)
Gas Detector: No
Quartz Parts: Outer/Inner Tube, Boat, Pedestal, Fin, Manifold, Shutter, and Cap Covers, One Injector and T/C Port Cover
Gas System
N2
NH3
SiH2CI2
N2O
1997 vintage
As-is, where-is.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是为半导体制造而设计的扩散炉及配件。这种高度精密的设备能够提供快速加热和冷却，同时达到沉积和蚀刻过程中精度和精确度的最高标准。TEL ALPHA-8S由石墨基基座构成，具有内置冷却设备和高温过程中温度控制的吹风装置。它还包括一个专有的TEL开发的快速加热感应线圈,它提供500 °C/秒的快速加热速率,从而无需单独加热元件。另外一个氮气净化系统提供了额外的过程安全的层除氧精确的反应过程。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S也包含各种可自订选项，以适应特定的使用者需求。其中包括一个可以调整到不同大小和形状的晶片支架，以及一个高效的等离子体监测和控制单元。ALPHA-8S还包括一系列温度传感器和确保精确温度调节的智能软件。它还能够管理不同的气流，提供对蚀刻过程的精确控制。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S是先进半导体技术等精确高温工艺的理想选择，包括FD-SOI、FinFET、3D-NAND、内存和显示膜应用。它也广泛用于平板显示面板、薄膜和MEMS设备的制造。因此,TEL ALPHA 8 S在广泛的制造应用中提供了无与伦比的准确性和可靠性。总之，TEL Alpha 8S扩散炉及其附件是一种用于精确高温沉积蚀刻工艺的高性能、可靠且可定制的解决方桉。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S拥有先进的设计、内置的冷却机和可定制的选项,是一款功能强大且用途广泛的设备,适用于各种半导体及相关应用。
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