二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293606033 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种最先进的扩散炉及其配套配件。它专门设计用于在晶圆器件中创建掺杂供体和受体的层。TEL ALPHA-8S气体输送设备和质量流控制器,加上其集成的自动化模块,确保了稳定和高度精确的扩散过程。该机具有智能保护功能,温度控制准确,水平和垂直加热器均具有卓越的温度均匀性,保证了均匀的掺杂特性。该系统设计具有自我诊断功能和先进的温度传感器,以提高装置的稳定性和准确性。其他特点还包括使用寿命长的涡轮分子泵和一个非接触电平检测器,监控液体流动以防止材料低速运转,使其更节能。扩散炉还配备了防止危险物质意外释放的安全措施。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S包括在操作时检测泄漏、温度均匀性和设备变形的先进监控系统。它的内存功能允许用户回忆经常使用的处理条件,并在不重置参数的情况下重用它们。这样可以显着减少设置时间。而且,该机设计方便维护,以较低的功耗提供更高的处理能力,有助于降低生产成本。它还可以与现有设备和系统集成,以实现无缝自动化功能。TEL ALPHA-8 S具有先进的特点,是适用于多种不同扩散过程的可靠设备。
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