二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293607761 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种扩散炉及配件，设计用于处理各种类型的高达300 mm的晶圆及相关元件，具有很高的穿透性能。机器提供高容量的控制、冷却和处理能力。它包括各种特性，例如用于晶圆输送的内部闸阀、扩散和退火室，以及用于精确监测和温度控制的热力计设备。TEL ALPHA-8S具有1200系列A型气体控制系统,该系统集成到扩散室中,用于精确的温度和气体控制,以实现高通量、重复性和稳定性。该机配有多任务接口，可高效集成多达8种基材类型、8种工种和8种晶圆支架尺寸的作业。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S预热泵给出准确的氧化物生长控制，五个蒸发器棒阀给出功率倾斜和功率控制稳定性。压力监测能力允许对各种零件进行多达200 torr的压力控制，以达到最佳掺杂深度。此外,封装的cOOLPOD还提高了温度曲线的重复性。TEL Alpha 8S精细调谐的干泵单元允许每小时300个基板的吞吐量,其与Ewafer Applications Suite的接口允许软件控制和远程诊断。该机还配备了全面门，在腔室内提供均匀的热量分配，并经认证可运行多种基板，并可根据需要安装额外的晶片支架。集成的热力计测机设计用于检测温度变化，实现精密处理，并确保在各种基板上的可重复性。内置的数据记录功能可方便地捕获数据,从而实现高效的流程开发。它的自动化设计是灵活的，从而允许优化晶圆工艺配方的创建和全晶圆跟踪。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S提供了一个高效率的工具来处理大量高达300 mm的底物。Alpha 8S结合了集成气体控制资产、高效的作业集成和自动化、精确的热力计和干泵系统以及有效的数据捕获和跟踪等功能,为各种扩散处理和退火应用提供了最佳解决方桉。