二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293627956 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种多区扩散炉，旨在方便各类扩散炉。它旨在帮助简化生产流程，提高现代生产线的效率。可用于进行退火、预扩散、反应、热氧化、杂质扩散等CVD/PVD工艺。TEL ALPHA-8S是一个多区扩散炉，经过设计，以降低生产成本，同时提高速度和质量。该炉由微处理器控制的温度稳定反应室和最新的可编程精密气体输送组件组成。强大的构建可确保最高级别的正常运行时间、可靠性和可重复性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S'室的最高温度范围为300°C至1150°C（以1°C增量），允许所有类型的扩散过程。它还具有独特的、可转动的晶片船，方便晶片和基板的装卸。再者，该炉具有由反应室温度控制的高效惰性气体循环设备。TOKYO ELECTRON ALPHA-8S还配备了许多旨在提高效率的配件和选项。这些附件包括气体喷射系统、集成气体洗涤器和反向过滤单元。气体喷射机允许受控引入多环芳烃等气体，可以改变扩散过程。集成气体洗涤器确保有害副产物在进入反应室前被清除。反向过滤工具允许监测清洁气体的废气。ALPHA 8 S是大型生产设施的理想选择。其宽广的温度范围和可编程的能力使其适合广泛的扩散过程。其强大的设计和高效的配件进一步提高了生产线的效率。