二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293636223 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S
ID: 293636223
晶圆大小: 8"
Furnace, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是为晶圆加工技术而设计的先进扩散炉及附件封装。它具有很高的生产高品质基板的能力,用于显示技术和其他产品。TEL ALPHA-8S通过大量的精确控制设置和可定制的功能,实现了极其精确和准确的结果。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S包括一个最高工作温度为1350°C的扩散炉、两个快速热过程(RTP)模块、一个超高真空泵送设备、一个PbSn-SnC蒸气沉积系统、气体输送系统、自动化设备以及O2、Nar等几个配套选项。炉子本身具有极高的低温精度(± 1°C)和均匀性,确保热处理和扩散过程没有热点或梯度。该装置为最高温度均匀性和可靠性而设计,从室温一直到1350 °C都能达到温度。Alpha 8S还可以通过其RTP模块实现极快的热循环,从而实现非常短的原位热循环,从而提高流程的重复性和重复性,并提高设备性能。该机的其他特点还包括易于合金和无铅焊接工艺的PbSn-SnC双源、确保氧气大气稳定的氧气浓度控制工具、可定制的数据采集资产以及自动冷却模型。除了提供的设备外,TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S还包括全套操作和软件,如控制面板、可编程逻辑控制器和基于Recipe-based的软件包。这套软件还包括一套先进的在线流程监测设备,用于实时监测流程、绩效和成果。总体而言,TEL ALPHA-8 S是一个强大且高性能的系统,能够生产出色的晶圆级显示器、电子产品等。凭借其高水平的精度和准确性、可定制的选项以及高级软件包,它是要求苛刻且准确的应用程序的绝佳选择。
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