二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293704454 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一款尖端扩散炉及配件设备,提供高性能资讯及精密处理需求的精确度。该系统量身定制,以满足半导体制造商的需求,还支持密集的定制处理应用。先进的扩散炉提供了广泛的控制设置和功能,可以根据工作要求进行调整。它配有高温直线石英炉,可控制高达3,000 °C的温度。直接与此相连的是气体输送单元,提供对气体流动的手动或自动控制,并允许用户精确控制背压、流量和输送压力。此外,氟化学气相沉积室确保按照所需的化学气相浓度供应化学气相组分。TEL ALPHA-8S机由两个基本部件组成。首先是熔炉本身,配有石英室,里面装有线性石英炉。此外,该炉允许通过外部加热器控制器和温度传感器对石英室进行温度和大气监测。该工具还配备了石墨加热器,为石英室提供均匀加热,以及电子束加热器,以精确控制烤箱和温度均匀性。资产的第二部分包括高性能配件。真空泵确保气体直接输送到外部环境。此外,扩散管允许用户监测进入和离开炉子的气体,进一步允许精确控制温度和大气。此外,该模型还有一个射频蒸发器,它提供了沉积薄层所需的原子流,还可以控制被沉积层的厚度。综上所述,TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S是一种最先进的扩散炉,为精密处理要求提供先进的信息和精度。其先进的特性和配件使其成为高度定制和密集处理场景的完美工具。凭借我们获得专利的线性石英炉和广泛的配件,这种设备一定能为小型和大型生产工作提供无与伦比的性能。
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