二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293738386 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种多用途的半自动批式扩散炉及配件，使用户可以精确生成氮化物、氧硝化物和氮氧化物薄膜。它能够以良好的均匀性和可重复性进行高质量的热加工，非常适合大量生产设备和基板。TEL ALPHA-8S配备了超精确的温度控制、自动化的过程监测和调节能力，以及稳定的垂直气体分配设备。该炉采用30英寸的锚背石英管，便于装卸晶片。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S的最高温度额定值为1,150 °C，并对可工作区域进行评分，以允许在下部、中部和上部定制温度设置。实施了一个高效、自动化的过程控制系统，以实现精确处理。可以实时设置和调整温度、压力和反应时间,以便更好地控制预置过程。该炉采用新开发的由两个线圈组成的"双线圈"型气体喷射单元供电。这些线圈可以独立部署，用于增加气流控制，提高气体均匀性和整体过程控制。此外,Alpha 8S还具有灵活性,允许手动和全自动操作。手动过程控制提供了可编程的设置点,允许用户轻松与环境交互,并根据产品需求快速调整和修改运行。为了支持最佳的氧化性能，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S标配了一个集成的氧化监测器，用于监测和显示原位热氧化活动。这台原位监测机为用户提供了有关该工艺氧化状态的及时数据和信息，表明了所选工艺的效率。此外，集成过程控制工具提供了恒定的反馈，可用于优化晶圆对晶圆的过程均匀性。附件也可以用来进一步提升TEL ALPHA 8 S的性能。诸如过程中断传感器和柔性臂装载机之类的选项提供了额外的控制和灵活性。这些特性可以确保在生产过程中达到最佳效果。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S是一个特殊的扩散炉和附件套件.TEL Alpha 8S具有自动化的过程控制、高温评级和精确监控功能,能够高效生产优质产品。通过利用其全面的配件选项，用户可以定制和微调ALPHA-8S，以最好地满足他们的具体需求。