二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293759912 待售
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ID: 293759912
Furnace, 8"
Process: HTSIC WDRIV
CIM: SECS
Carrier and wafer transfer unit
ASYST / Pb90C SMIF
Layout type: U / box type
LL Hand
VMU-40-007 Heater
Torch heater
Gases: N2, O2, H2, Trans-LC
Wafer Type: SEMI STD-Notch
Cassette Type: Entergris / XT200-01E
(25) Cassette wafers
(16) Cassettes
Fork type / material: 1+4 / AI208
Fork variable pitch
TS4000Z System controller
PYRO CTL Torch controller
Signal tower colours: G/R/A
Pressure display units: Pressure Mpa
Cabinet exhaust display units: Kpa
M121 Furnace temperature controller
Does not include Quartzware
Gas distribution:
Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Finish: Electro-polished
FUJIKIN manual and air-operated valve
MFC
Power:
Single phase, 120 VAC
3 Phase, 208 VAC
UPS Input voltage / output voltage: 120/100 V
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是为专业制造用途的半导体沉积工艺而设计的扩散炉及配件。TEL ALPHA-8S利用一个陶瓷室，它允许一个连续的过程，从进入到输出的家具。该陶瓷室与一个排气装置配合工作，以改善气体流动，从而有效地转移和冷却溷合物。一个射频石墨敏感剂保护包装免受热降解，以及限制基板和周围环境之间的接触。这种感应器也被设计成最大限度地降低炉子中存在的静电水平。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S扩散炉具有多种工艺温度，从100°C到1100°C不等。加热板温度高达1440°C，炉能适应各种工艺参数。该炉采用原位腔室进气能力和自动甲烷硬件控制系统，旨在提供改进的过程控制，以最大程度地减少磁带对磁带的变化，从而优化沉积过程。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S配备了坚固的安全特性，如压力感应机构，以保护炉子免受潜在的问题。压力感应自动增加或减少气体供应，确保整个机组的大气稳定。它还包括一个基于温度的报警机，它可以连接到炉外的报警器，并针对任何潜在的问题触发。Alpha 8S还配备了EMI shiedl发生器，以避免电磁干扰。它特别适合于半导体加工，确保散热一致性和高质量的产品。它比早期型号的改进包括双诊断控制和外室氧化铝绝缘等功能。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S是一种可靠高效的扩散炉，设计用于加强半导体沉积过程。其陶瓷室和RF石墨敏感器限制了供应商与周围环境的接触，而EMI Shield发电机和压力感应机构则提供了额外的保护，使其安全易用。TEL ALPHA 8S是寻求稳定可靠流程的人的绝佳选择。
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