二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293764342 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S扩散炉是一种用于化学气相沉积过程的精确高温退火装置。这种高度精确的热机械设备为先进技术提供了业界领先的热均匀性、可重复性和工艺产量。TEL ALPHA-8S扩散炉利用一个专有的设计元素来创建一个精确和孤立的温度剖面，允许精确的边缘场控制温度和热均匀性。该炉提供从室温到1500°C的精确温度控制，使工艺工程师能够为各种应用开发和优化工艺条件。该炉还利用石英衬里和铝互连实现精确的电力输送，具有较低的温度和较快的处理时间。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S扩散炉包括多种配件，包括补偿器、冷却头和过温加热保护系统。补偿器在炉膛内的基板和石英衬里互连之间提供温度流度补偿。冷却头可确保在基板的外部边界进行精确的温度控制,而过温加热保护系统可保护互连不因过温过程错误而损坏。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S扩散炉还利用先进的软件进行实时过程监测和分析。软件控制的界面允许自动优化工艺参数，而图形界面则为工程师提供炉子和配件的详细规格信息。此计划使维护人员能够优化流程产量并降低成本。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S扩散炉是先进技术生产的完美解决方桉。该炉具有高度精确的热机械设计元件和额外的配件，为所有工艺提供精确的温度控制。该炉还提供过程工程师实时的过程监控,以及压力、温度和时间的自动优化。ALPHA-8 S型扩散炉具有业界领先的热均匀性、可重复性和工艺产量,在短时间内保证了优异的性能,是先进技术生产的绝佳选择。