二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293769731 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种最先进的扩散炉及其相关配件，设计用于半导体和电子工业的高精度应用。它具有出色的温度分辨率和快速的恢复时间,能够缩短周期时间和提高吞吐量。TEL ALPHA-8S配备了可拆卸的石英加热块，可与高温晶片配合使用，消除了多重固定的需要。这种炉的高温能力也使得像多晶硅和硅​​的材料能够快速的热处理。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S的加热块是独立控制的，并有内置的热电冷却器，允许精确控制温度轮廓。采用石英衬里的石墨敏感器提供均匀的加热表面和较长的寿命，而可移动的石英屏蔽保护晶圆公众免受热辐射。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S还包括一个高温计，允许温度监测甚至超出加热块的温度范围。ALPHA-8 S是为整个炉膛的均匀性而设计的.三点温度补偿设备可确保整个腔室的温度均匀性,最大变化幅度小于1°C。多槽转盘消除了手动旋转晶片的需要，而多片系统则可以方便地载入和移除多个晶片。此外，阿尔法8S还配备了真空疏散装置，在整个过程中提供出色的温度均匀性。腔室还配有氮气净化机，在加热过程中密封晶片。这样可以在低扩散损耗的情况下进行高效且可重现的晶圆处理。最后,TEL ALPHA-8 S包括全面的软件支持,允许用户创建配方参数以满足其特定需求。该软件使炉的编程和操作简单易行，同时允许高级用户对参数进行修补，以充分利用工具。总而言之，TEL Alpha 8S是用于半导体和电子工业精密应用的扩散炉的绝佳选择。