二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293770421 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种先进的扩散炉,用于竞争性生产高端半导体器件,为器件制造商提供前所未有的动力。TEL ALPHA-8S具有8英寸晶圆容量,能够操作多达11个独特的扩散参数。炉子特别快;利用大功率加载系统,8秒内可处理多达2个晶圆。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S配备了先进的热控制技术和安全特性。例如,炉子的"连续温度控制"功能可根据需要连续监控和调整温度水平,以最小的操作员输入来确保完美的条件。此外,它的阻燃模块保护晶片在被带入加热器之前免受空气氧化和污染。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S在3.2 kW运行,最高温度为1,200 C。该炉装有10通道温度调节模块,最多可同时设置11个扩散参数。这种灵活性使制造商能够生产出更高效、更精确的设备。ALPHA 8 S还配备了多气体输送配置,允许为各种应用引入气体。该炉与C-2气体和氮气都兼容。新的腔室设计采用了新采用的宽幅暖墙,可实现广泛的扩散参数,并允许用户在操作过程中获得更高的晶圆能见度。ALPHA-8S标准配置了一个在线监控系统(OMS),它有助于准确的操作和控制。OMS具有直观的用户界面、实时监控系统以及记录驱动器历史记录和收集数据的能力。OMS是操作员跟踪每个晶圆进度的完美工具。ALPHA-8 S扩散炉是为承受恶劣的工业环境而设计的,并附有终身保修,提供安心和全面的客户满意度。
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