二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293775114 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是专门为金属沉积在硅片上而设计的扩散炉和相关配件。TEL ALPHA-8S是一种金属有机化学气相沉积（MOCVD）炉，采用超高真空设备。它具有三条独立的气线，并提供独立的温度控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S是现有的最可靠的MOCVD系统之一，常用于生产砷化氙、phospeides、antitimonide等III-V化合物半导体层。TEL ALPHA-8 S具有先进的超高真空（UHV）系统，真空范围为10-11 Torr。在这种真空水平下，不存在氧气污染，产生质量更高的外延层，材料消耗大大减少。它还配备了先进的石英晶体微平衡（QCM），在分子水平上控制工艺气体，防止工艺气体的无意逸出。此外,TEL ALPHA 8 S能够同时处理多达三个晶片,从而提高生产效率。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S扩散炉具有一套全面的安全特性。具有增强散热和石英锁定机构的镜子加热装置等特点有助于防止矿渣形成，而盖子安全操作在开门时自动停止过程。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S还配备了防反射涂层（ARC）机，可防止镜子和样品之间的光学干扰。在硬件和外部设备方面，TOKYO ELECTRON ALPHA-8S兼容了一些配件，如盐酸或氮气供应系统、机器人、气流控制器和远程操作系统。Alpha 8S还配备了一个快速、精确的石英温度计来测量晶圆温度，以及一个高度灵敏的红外反射相机来监测晶圆表面的安全和控制操作，ALPHA-8 S采用了自由编程的警告系统和触摸屏图形用户界面工具（GUI）。总之，ALPHA-8S是一种先进的扩散炉，具有广泛的硬件和软件功能，可用于各种制造过程。它拥有先进的超高压设备，是优质外延层沉积的理想选择，其安全特性保证了安全可靠的运行。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一个极好的选择，用于III-V化合物半导体层，如砷化氙、磷化​​和安定层的制造。