二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293775116 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S
ID: 293775116
Furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S扩散炉是晶圆基板热处理的先进工具。它采用8区平行线性热墙设计,可显着提高工作效率,同时保持高度的均匀性和准确性。该炉的线性电磁热墙设计允许更快的温度斜坡,更高的效率,和更多的热均匀性整个炉的工作室内。TEL ALPHA-8S随附公司的高级控制器,使用户能够精确控制CVD和氮化物工艺等热处理。控制器具有彩色触摸屏操作功能,最多提供16个程序,每个程序64个步骤。这个复杂的单元还包括可选的流程监控、全自动校准和用于调度作业的实时时钟。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S专为高性能、最佳过程控制和快速周转时间而设计。低功耗和小占地面积使其非常适合空间受限或远程环境。该炉的温度范围高达1150摄氏度,可容纳200个晶圆。它还包括一个强大的排气鼓风机,有助于保持整个炉膛的温度均匀性。该炉还具有更快、更高效的坡道速率,从而提高了吞吐量和生产率。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S配备了一整套安全功能,能够安全运行。炉子采用凉爽触摸翻盖,防止操作过程中散热,可轻松地打开、关闭、锁定。TEL ALPHA-8 S还具有一个热监视器,用于监视腔室温度并检测预设范围以外的任何温度偏差。如果温度超过预定限制,此显示器将自动关闭计算机。最后,炉子配有一个紧急关闭开关(ESS),可以方便和安全地关闭机器。综上所述,ALPHA-8S扩散炉是一种先进的热处理工具.它采用8区平行直线热墙设计,生产率高,均匀。控制器具有强大、用户友好的界面和全面的自动化功能。低功耗和小占用空间适合任何空间和预算限制。Plus 8S炉还具有安全功能,如紧急关闭开关和温度监视器,使其成为任何实验室环境的安全选择。
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