二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293775119 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S扩散炉是各向异性蚀刻和扩散过程的精密工具。TEL ALPHA-8S允许使用各种基板进行精确、可重复的蚀刻和扩散操作,同时最大限度地提高吞吐量和可制造性。这是设计和开发预算紧张、交货时间短的理想选择。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S是一种单晶片扩散蚀刻设备，最高工作温度范围为500 °C至1300 °C。它有一个可变压力反应物输送系统，可以精确制造中小型结构。它具有用于基板运动的单级皮带传动，允许快速的吞吐量，平滑的基板定位和可调节的皮带加载速度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S配备了先进的温度和压力感测单元，提供对工艺条件的精确控制。这种先进的机器允许精确、可重复和时间优化的热量和气体流入炉子。它还具有先进的闭环控制，能够精确控制反应条件，并提供一致和可重复的扩散/蚀刻结果。此外，TEL Alpha 8S有一个内置的超低颗粒物环境室，确保工作基板上的颗粒物污染接近零。这保证了亚微米分辨率和高产率在不同的底物。计算机控制、用户友好的图形用户界面为操作员提供了对扩散过程的高效、易于使用的控制。ALPHA-8 S还配备了许多支持选项，使其成为蚀刻和扩散过程的全方位工具。这包括基板旋转、工艺/升降熄火、蚀刻-反冲、高压CVD、掺杂剂活化、背面蚀刻、快速氧化和快速氮化。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S也能够使用广泛的蚀刻器和涂料，允许易于配置的蚀刻和扩散操作。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S扩散炉是一种可靠且用途广泛的蚀刻和扩散工艺工具。其先进的温度和压力传感系统确保精确和一致的结果，而其单级皮带驱动则允许高效的吞吐量。Alpha 8S结合其众多支持选项,提供了一种功能强大的扩散和蚀刻工具,非常适合生产和研究。