二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293794213 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S扩散炉是一种功能强大、经济高效的热处理解决方桉,旨在满足先进半导体器件制造的需要。这种单室立式炉在节省空间的设计中提高了生产能力，提高了产量。通过自动晶片传输、温度、压力和大气的精确控制以及先进工艺控制系统的集成，实现了TEL ALPHA-8S的灵活性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S提供高精度的气体联合压力控制，以六室自下而上的晶圆厂架构提升吞吐量，减少粒子污染，这要归功于其内部的清洁管。气体联合压力控制在先进微电子的制造中很重要，使TEL Alpha 8S能够在整个扩散过程中提供精确的温度和压力控制。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S包括一个功能强大的过程控制器，消除了对场外软件控制的需求，并实现了过程的即时优化。TOKYO ELECTRON ALPHA-8S还提供了先进的安全功能,其设计符合或超过所有安全标准。这包括超压安全设备,包括自动关闭系统,该系统可在压力或温度超过预编程安全限制时启动。该单元还包括一个紧急通风口，以确保在发生紧急情况时迅速安全地缓解压力。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S具有多种配件，以提高性能和效率最大化。其中包括真空机、惰性气体引入工具、惰性气体排气和回收资产、负载锁真空支撑、货舱以及监控系统。自动晶圆处理模型与TEL ALPHA-8 S兼容,从而改进了对批量大小、吞吐量和其他设备集成的控制。ALPHA-8S还有一个可选的热冷却阶段，使得晶片的温度能够在热处理的快速发展中迅速降低。ALPHA 8 S扩散炉具有先进的安全特性、精确的控制和强大的工艺控制系统，是高要求半导体器件制造行业的理想解决方桉。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S性价比高，节省空间，提供增强的产能和提高的产量。