二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293794330 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S（TEL ALPHA-8S）是一种扩散炉和辅助设备，可用于晶圆的制造和组装。其设计采用垂直向下直接驱动系统，实现了较低的热失真和改进的控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S包含变频驱动，用于精确的温度控制，在改变炉设置时允许更高的精度和重复性。该炉还配备了标准的废气流量计，允许对气体通量进行优化，以提高工艺一致性和均匀性。TEL Alpha 8S支持多种热过程，包括扩散、氧化、氮化和低温退火。为确保晶片加热均匀，炉子上装有机械化的crucible和阶梯旋转系统，以及顶部和底部的石英灯。Crucible rotation is do through a direct-drive motor, while the angle can be selected for both crucible and stage rotation.这两个特性旨在提高炉内晶圆的均匀性。Alpha 8S还配备了多项安全功能，包括温度、氨和废气关闭系统。该炉还设计用于防止过温运行，具有温度超过设定点后停止运行的温度设置装置。该炉还具有先进的自动净化功能，可在加热过程之间对系统进行净化，以优化通量，提高工艺均匀性。除了其顶级扩散炉之外，ALPHA-8 S还包括许多配套配件，以满足任何半导体制造设施的需求。它包括一个电磁泵，温度测量探头，晶圆温度平衡支架。一些附加组件,例如粉末状空气过滤器,也可作为可选附件使用。ALPHA-8S是一种用途广泛、可靠的扩散炉，可用于生产高质量、性能更高的半导体器件。其简单而先进的功能和广泛的支持附件使用户能够创建各种晶圆形状、尺寸和热轮廓。无论是应用要求高通量、均匀性，还是严格遵守特定工艺参数，TOKYO ELECTRON Alpha 8S都是晶圆制造组装的理想选择。