二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293802479 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种全模块化、8室扩散炉及配件。它在均质热加工领域提供精确、高质量的加工能力。它可满足高通量应用,旨在通过卓越的操作和交付来节省时间。TEL ALPHA-8S旨在实现有效的热工艺优化,具有灵活的操作功能,如多种基板尺寸、灵活的控制设置和广泛的集成组件。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S扩散设备配备了先进的气流系统。利用高质量热交换气体的精确气流，实现了精确精确的温度控制。通过精密气流控制阀和高效气体喷射器实现了高耐受气流。喷射产生的精确热梯度设计为降低边缘效应，提高均匀性。TEL ALPHA 8 S扩散炉配备了高性能、低冲击力的陶瓷基板，处理时间短，质量提高。耐用的陶瓷基板甚至可以承受最激进的工艺应用,从而提高了时间/屈服性能。此外，陶瓷还具有广泛的耐温材料，确保准确和均匀的加工结果。TEL Alpha 8S扩散设备配有集成电源和多种安全装置，确保安全运行。集成电源具有预先设定的最大电源设置,以防止过热损坏,而广泛的安全功能包括自动过滤器监控和冷却模块监视器、温度保护和超压保护,这有助于确保完全防止损坏。TEL ALPHA-8 S扩散炉还配备了先进的软件，允许对整个系统进行精确的控制和监控。该软件可用于优化流程参数、配置设置和监视趋势。此外，它还包括一个强大的数据采集和分析系统，能够实时监测和分析过程参数。最后，TOKYO ELECTRON ALPHA-8S扩散设备配备了晶圆的传输和运输技术，包括机器人转移模块、CF浴陶瓷模块、晶圆处理技术。这使得有效的过程优化，并确保晶片可以安全和准确地处理。总之，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S扩散炉及其附件为高通量热处理提供了可靠、高效和经济高效的解决方桉。其创新的设计、准确性、质量和安全特性使其成为密集热处理应用的理想选择。