二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293805551 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种先进的扩散炉,旨在提供电子元件的高效制造。该装置由TEL Limited(TOKYO ELECTRON)製造,是一种用途广泛、可靠且成本低廉的半导体生产解决方桉。TEL ALPHA-8S扩散炉是一种垂直单晶圆处理器,为热氧化过程提供了理想的环境。这台高效的机器旨在最大限度地减少污染,提高氧化均匀性。它配备了一个强大的300 mm热区,消耗最大20kW,同时维持高达1,200 °C的温度。其高效的冷却设备通过不到3分钟的总热循环时间提供快速冷却和完成热过程。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S扩散炉的冷热区由六个独立控制、双区上、下室组成。这有助于在整个晶片上快速且均匀的温度分布。提供多种均匀性控制模式,包括静态、动态和自适应温度控制,以适应各种过程。ALPHA-8S扩散炉与各种配件捆绑在一起,如一套先进的控制器、一个低调的滚筒式基板支架和一个气体输送系统。集成气体输送单元允许扩散炉进入受控量的氧气、氮气和其他气体,有效地修改和微调表面反应状态。另外,非接触型红外温度计和接触型电阻温度检测器这两种温度传感器作为标准附件。ALPHA-8 S扩散炉获得了一系列的认证,以确保无与伦比的安全水平。除CE和UL等基本安全认证外,该机符合医疗器械制造ISO13485标准和SEMI S2晶片切割精度标准。最后,TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S是一种强大的扩散炉,为电子工业中的元件的高效制造提供了一套先进的特性和配件。其特点包括温度控制的冷热区、用于微调表面状态的气体输送机以及传感器和控制器等附件。通过广泛的认证,确保了可靠、准确、安全的生产.
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