二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293811673 待售

TELTEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种用于半导体工业的扩散炉设备和附件。它旨在为激光植入、外延、湿氧化、热加工、栅极氧化、离子植入等先进工艺提供所需的精度和均匀性。这款炉及附件包装量身定制，以满足特定工艺要求，确保精确的层厚和均匀性，并最大限度地减少系统停机时间。TEL ALPHA-8S由载入晶片的外室和发生扩散过程的内室组成。外室中央装有一个自动晶圆盒式磁带支架。位于支架每一角的升降机允许将晶片轻轻地转移到内室进行处理。内室装有多个可精确控制的扩散源。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S随附的众多配件中，有一款是热壁源。这使得热氧化物具有亚微米厚度和优良质量的均匀沉积。利用这一源，可以达到90%以上均匀性的扩散层。TOKYO ELECTRON ALPHA-8S也有一个C-MOS门扩散源，可以提供对闸门尺寸和薄膜厚度的精确控制。除了这些扩散源外，TEL ALPHA 8 S还附有一个坚固的气体单元，以确保有效输送蚀刻和氧化气体。本机预装有专用管道和阀门，便于安装。TEL Alpha 8S还包括一个高度精确的晶圆温度控制工具。这样可以在整个晶片表面均匀分布热量。总之，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S是一种功能强大的扩散炉资产和附件，专为复杂的半导体工艺量身定制。它具有许多功能,可提供高级设备制造任务所需的精度和统一性。该套件采用特殊的气体模型、晶片温度控制设备和热壁源，确保了可靠高效的扩散过程。