二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293814783 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种高性能扩散炉及附件。它为研发和批量生产提供了最佳和最准确的晶片加热和冷却。它具有一个加热器托架，高真空预处理室，最多有四个处理室在理想的气氛。它旨在满足这种加工和生产超小型电子元件以及基材通用工艺的需要。TEL ALPHA-8S扩散炉的加热器托架被设计为允许全系列的加热和冷却。它具有多个可独立监控和调整的温度区域。加热器舱内的环境也受到先进气流和清洗系统的高度控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S具有高度精确的温度范围，可以以0.1摄氏度的精度调整。这样可以确保整个腔室的温度分布均匀,同时允许精确的过程控制。TEL ALPHA 8S扩散炉的预处理室结合了先进的高真空设备。这样就可以实现超高精度的光刻和沉积工艺，并取得优异的效果。真空环境也增加了烤箱环境的均匀性。工艺室可配置最多四个串联或平行的工艺室，以确保最终的便利和灵活性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S扩散炉的设计考虑了安全性.它具有板载灭火系统和超流保护功能。扩散炉及其附件的操作单元与Windows和Mac操作系统兼容。它还包括一个自测和管理的故障排除模拟机器。ALPHA-8 S扩散炉由于其高温范围、先进气流和工艺室，是进行精密工艺的人的终极选择。安全功能和操作工具是全面的,包括自检和管理故障排除,这使得此资产非常适合研发和生产需要。